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取代人工搬運(yùn)片籃、信息智能交互、資源智能管控，實(shí)現(xiàn)整線自動(dòng)化生產(chǎn)，工廠智能化管理。

集裝片和卸片一體，可從石英舟中把擴(kuò)散后的硅片卸到片籃中，也可從片籃中將制絨后的硅片裝入石英舟中?？稍?個(gè)石英舟插槽中插?兩片，實(shí)現(xiàn)單面擴(kuò)散片工藝，也可在?個(gè)石英舟插槽中插入一片，實(shí)現(xiàn)雙面擴(kuò)散片工藝。采用裝片與卸片可連續(xù)銜接?式，實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)；也可單獨(dú)裝片或單獨(dú)卸片。

本設(shè)備為在線式，可與一臺(tái)或兩臺(tái)側(cè)出舟設(shè)備對(duì)接，實(shí)現(xiàn)石墨舟的自動(dòng)傳輸和硅片自動(dòng)裝卸，滿足在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)過(guò)程中的PECVD工藝前后，將片籃中的硅片自動(dòng)裝載到石墨舟，并將石墨舟輸送到PECVD設(shè)備中，或?qū)ECVD設(shè)備中的石墨舟輸送到本設(shè)備，并將石墨舟中的硅片自動(dòng)裝載到片籃中。